高壓功率放大器驅(qū)動壓電薄膜測試中應(yīng)用

壓電材料是指受到壓力作用在其兩端面會出現(xiàn)電荷的一大類單晶或多晶的固體材料，它是可以進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換和信號傳遞的重要載體。壓電材料驅(qū)動方式一般為激振蕩式驅(qū)動，利用正弦波振蕩器來激勵發(fā)聲，這就需要可輸出大功率的信號源進(jìn)行驅(qū)動或激勵。

市面上一般的函數(shù)信號發(fā)生器無論是進(jìn)口的還是國產(chǎn)的，大電壓輸出都是10Vpp-20Vpp，電流輸出很小，在驅(qū)動各種壓電陶瓷材料測試時電壓以及功率都不夠，ATA-4012 高壓功率放大器就需要作為驅(qū)動放大部分來配合信號源來工作。

   壓電薄膜材料是原子或原子團(tuán)經(jīng)過或濺射的方法沉積在襯底上而形成的，其結(jié)構(gòu)可以是費靜態(tài)、多晶甚至是單晶。PZT薄膜是目前應(yīng)用廣泛的壓電材料之一，就是高壓電特性的PZT材料已經(jīng)被大量應(yīng)用在了揚聲器、超聲成像探頭、超聲換能器、蜂鳴器和超聲電機等電子器件中。

早人們利用溶膠-凝膠法制備了PZT薄膜，并在MEMS器件中進(jìn)行實際應(yīng)用，如驅(qū)動器、換能器和壓力傳感器。隨著薄膜制備技術(shù)的提高，開始涌現(xiàn)出多種制備手段，并且也利用多種技術(shù)制備了PZT壓電薄膜，如磁控濺射技術(shù)、脈沖激光沉積技術(shù)（PLD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和金屬化合物氣相沉積技術(shù)等。

某高校實驗室需要驅(qū)動的壓電薄膜材料主要工作在500KHz的頻率，電壓需要70V左右，電流需要2A左右，Aigtek技術(shù)工程師提供信號發(fā)生器的測試方案。

信號發(fā)生器和放大器推薦的是泰克的AFG3000系列、ATA-4012 高壓功率放大器驅(qū)動放大，信號發(fā)生器輸出電壓幅度只有10Vp-p，連接功率放大器ATA-4012，輸出電壓達(dá)到了160Vpp，功率大160W，頻率范圍是DC-1MHz，*驅(qū)動測試需求，可直接進(jìn)行驅(qū)動壓電薄膜材料。

另外ATA-4012 高壓功率放大器驅(qū)動放大可用于驅(qū)動電容性、電感性負(fù)載，一般情況下，如果用交流電源驅(qū)動含有電容器或電感線圈的負(fù)載，會導(dǎo)致來自負(fù)載一側(cè)的逆向電流。在這樣的情況下，用通常的電源的話可能無法驅(qū)動。但是如果采用功率放大器來驅(qū)動，需要的高電壓、大電流也都可以實現(xiàn)。所以，對于壓電元件和電感線圈那樣的電容性·電感性負(fù)載，也能夠穩(wěn)定地運行（輸出）。