靜電懸浮技術(shù)是利用靜電場(chǎng)中帶電物體受到的庫(kù)侖力平衡重力以實(shí)現(xiàn)材料懸浮的一種無(wú)容器處理技術(shù)。因?yàn)殡妶?chǎng)不存在三維勢(shì)阱叮，所以要維持靜電場(chǎng)中材料的穩(wěn)定懸浮，必須結(jié)合負(fù)反饋控制系統(tǒng)對(duì)懸浮樣品的位置進(jìn)行實(shí)時(shí)探測(cè)并依此調(diào)節(jié)靜電場(chǎng)的電壓來(lái)實(shí)現(xiàn)。由于不論是導(dǎo)體還是絕緣體都可攜帶電荷，因此靜電懸浮的研究對(duì)象十分廣泛。并目，其具有懸浮穩(wěn)定性高，懸浮與材料處理過(guò)程相獨(dú)立，無(wú)外場(chǎng)擾動(dòng)，以及視野開(kāi)闊等特點(diǎn)。經(jīng)過(guò)三十多年的發(fā)展，靜電懸浮技術(shù)逐漸應(yīng)用于材料的熱物理性質(zhì)、深過(guò)冷快速凝固機(jī)理和液態(tài)金屬結(jié)構(gòu)等多個(gè)領(lǐng)域的研究。

懸浮控制子系統(tǒng)一般包括垂直懸浮電極組、水平穩(wěn)定電極組、定位HeNe激光、位置敏感探測(cè)器、控制電腦和高壓放大器。不同于聲懸浮和電磁懸浮，靜電場(chǎng)內(nèi)不存在三維最小作用勢(shì)且樣品表面所帶電荷在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中會(huì)變化，因此樣品無(wú)法穩(wěn)定懸浮在純靜電場(chǎng)中。因此靜電懸浮通過(guò)引入負(fù)反饋調(diào)節(jié)，根據(jù)樣品位置實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)加載在垂直電極組之間的電壓來(lái)保證樣品穩(wěn)定懸浮在電極之間。

樣品的三維空間位置利用兩個(gè)二維位置敏感探測(cè)器(Position Sensitive Detective，PSD)探測(cè)，平行HeNe激光通過(guò)懸浮樣品后投射在PSD光敏面上的圓形光斑內(nèi)出現(xiàn)一個(gè)陰影，陰影的位置由PSD轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，代表樣品在實(shí)際空間的懸浮位置。位置電壓信號(hào)傳入控制電腦后，通過(guò)PID算法計(jì)算出樣品運(yùn)動(dòng)到預(yù)定懸浮位置的電壓，并將其由高壓放大器放大后加載于上電極。另外，垂直電極的形狀對(duì)實(shí)驗(yàn)中樣品的懸浮穩(wěn)定性也有很大影響，為了增加水平方向的束縛力，一般選取凸上電極和凹下電極作為垂直電極組。

靜電懸浮裝置示意圖

優(yōu)化設(shè)計(jì)靜電懸浮實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)材料熱物理性質(zhì)的測(cè)定以及凝固規(guī)律的探索;改進(jìn)位置探測(cè)模塊，提升懸浮能力;在控制算法中增加濾波模塊，提高熔融狀態(tài)下樣品懸浮的穩(wěn)定性;增加觸發(fā)形核和液淬的功能，實(shí)現(xiàn)凝固過(guò)程的控制;把激光加熱與紅外測(cè)溫相耦合，精確控制懸浮樣品的溫度。Aigtek高壓放大器被廣泛的應(yīng)用在靜電懸浮實(shí)驗(yàn)中，最大輸出電壓10kv,最大功率10KW，頻率DC~25MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)，數(shù)字Monitor輸出電壓，電流實(shí)時(shí)顯示。

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